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我国芯片领域还有一重要设备被卡脖子 刻蚀机三巨头都是美日企业

来源：运营商财经    时间：2023-05-04 05:50:39

今年以来，美国对中国半导体设备封杀禁令已经达到极端的地步，在美国的压迫下，荷兰宣布将对包括部分DUV在内的特定半导体制造设备实施新的出口管制。然而，事情还未结束，下一个令人担心的领域则是刻蚀机。为何这么说呢？

来了解下什么是刻蚀机。刻蚀机是半导体加工过程中与光刻机同样不可缺少的技术，从名字就可以看出，有了刻蚀机，就可以把芯片晶圆切割成各种形状，刻蚀机很想雕刻中的刻刀，把一块完整的金属板中不需要的部分给去除掉，剩下的就是需要的电路了。刻蚀机的精度最终会影响到芯片晶圆的良品率。

来看下光刻机和刻蚀机谁重要呢？肯定还是光刻机重要，光刻机的技术难度高于所有半导体设备，但刻蚀机是重要性仅次于光刻机的半导体设备，所以也很重要。


【资料图】

半导体企业对刻蚀机的需求量略低于于光刻机，市场研究报告显示，全球刻蚀机市场规模2009年为24亿美元，2019年达115亿美元，预计2025年将增长至155亿美元。而全球光刻机市场2022年全球光刻机市场规模就已经达 196 亿美元，这主要是因为光刻机设备很昂贵，一台EUV光刻机售价就高达1.2亿美元，荷兰ASML公司近年来每年也就生产35台EUV光刻机。

国外企业对刻蚀机的垄断程度也惊人，全球刻蚀机设备由美国泛林半导体、日本东京电子、美国应用材料三大巨头占据，他们占据90%以上的全球刻蚀机市场份额，日立高新和细美事紧随其后分别占3.45%和2.53%。

也就是说，排名靠前的3家刻蚀机巨头有两家是美国企业，一家是日本企业，他们联手就完全可以垄断全球刻蚀机市场。

好在并非中国企业生产不出来刻蚀机，在全球刻蚀机设备市场，中国企业占据了2%左右的市场，尤其是在国内市场，中国企业占据了大量的中低端刻蚀机市场。

有市场研究公司的报告称，在国内刻蚀机市场，美国泛林半导体一家在2019年市场占有率就高达52%，但国产刻蚀机设备中的龙头企业中微公司崛起也很快，排名第二，占据20%市场份额。

在高端刻蚀机领域，美国企业可以对中国卡脖子，但并不能阻止中国企业获得刻蚀机，无法彻底对中国刻蚀机卡脖子，大不了大家全都用中微公司等国产刻蚀机设备。

（责任编辑：韩丽）



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